?美國(guó)自動(dòng)精密(API公司)激光干涉儀 XD-3D激光干涉儀有一個(gè)良好緊湊的激光頭(內(nèi)置控制器)。激光頭在測(cè)量安裝上非常方便,用戶可以直接將它安裝在機(jī)床上,靈活的安裝方式給予用戶很大的靈活性。該系統(tǒng)的主要部件有激光頭(包括干涉鏡組、激光控制部件和以太網(wǎng)通信模塊、電源)、環(huán)境傳感器(稱為氣象站)、反射鏡(XD-3D配置).
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